1.TS /Aixtron等各种MOCVD设备的heater 用的PBN 陶瓷绝缘片；

2.分子束外延设备；

3.其他用于高温绝缘的部件。

产品概述：

   热解氮化硼（PBN）是特种陶瓷材料，是本公司在特殊设备上用化学气相沉积的工艺制得的。热解氮化硼 的沉积过程，宛如"落雪"：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基体材料上，达到 一定厚度后，最终冷却脱模而制成。

• ● 主要特点：1.产品颜色在牙白至橙棕，无毒、无孔隙、易加工。
  2.纯度高达99.99％，表面致密，气密性好。
  3.耐高温，强度随温度升高，2200℃达到最大值。
  4.耐酸、碱、盐及有机试剂，高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。
  5.抗热震性好，热导性好，热膨胀系数低。
  6.电阻高，介电强度高，介电常数小，磁损耗角正切低，并具有良好的透微波和红外线性能。
  7.在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。
• ● 主要参数：

• ● 产品应用：MOCVD设备的绝缘板。