辉光离子氮化炉

一、概述

         离子氮化是在13.3-1333Pa的真空容器中使含氮稀薄气体在直流电场中电离，正离子轰击金属零件表 面形成氮化层，正离子轰击金属零件表面形成氮化层，以达到表面硬化的方法。

         离子氮化对于球墨铸铁，合金钢，不锈钢，粉末冶金制品，钛合金，高速钢，工具钢等均有显著氮化效果。

二、设备的组成

      离子氮化炉由炉体，输电装置，真空获得系统，供电系统，供气系统，真空、温度测量五部分组成。

    1、炉体由钟罩、炉底盘（井式炉由炉盖、炉筒、炉底盘）组成，其中炉盖、筒体、炉底盘夹层通冷却水，炉内设有不锈纲、铝板双层隔热屏，（输出功率≤LDMC-30A）型只有不锈纲一层。炉体上设有双层钢化玻璃观察窗，以供离子氮化过程中观察炉内情况之用。

    2、炉底设有堆放阴极一个，堆放阴极与阴极支承上安放着工作盘，工作盘，工件可直接放在此盘上。

    3、炉体的真空获得系统一般由两台旋片式真空泵（输出功率≤LDMC-100A）由一台旋片式真空泵及串有碟阀的管道系统组成，碟阀的作用是通过关闭或旋转不同的角度调度调节抽气量以维持不同进行气量条件下的炉内压强。真空度的测量用配套电阻真空计，从表头可直接读出真空值。

    4、炉体的供气管进口设在炉壳筒体上，流量计采用CO2定标及NH3定标的转子流量计各1只，以便通NH3、 CO2混合气。根据用户不同的工艺要求，可配置多路流量计。

    5、热电偶插入炉内，进行模拟测量，由控温仪表记录温度。进行P、I、D控温。