ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米定位
2.高分辨率(1纳米),重复定位精度(75纳米),定位精度(250纳米)
3.1纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
ANT95-XY系列双轴纳米平移台1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.实现大行程纳米定位
3.高分辨率(1纳米),重复定位精度(75纳米),定位精度(250纳米)
4.1纳米的位置稳定性
5.抗爬行十字交叉滚珠轴承
6.高动态特性
ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率(2纳米),重复定位精度(75纳米),定位精度(300纳米)
3.2纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
ALS1000 直线电机平台
1.直驱直线马达实现超精密运动
2.长寿命直线运动导轨系统
3.2轴内部电缆管理系统
4.可选气体净化的密封设计
5.低成本,占地面小,高性能
行程450mm
精度±1.0um
负载50.0kg
ALS5000 直线电机平台
1.适合恶劣环境
2.坚.台面和导轨罩
3.完全整合电缆管理系统
4.高精度,非接触式直线编码器(光栅尺)
5.可选气体净化的密封设计
行程1000mm
精度±1.0um
负载135.0kg
ALS5000WB 直线电机平台
1.宽底座可以承受较大的偏移负载
2.强大的双直线电机驱动
3.坚硬涂层台面和导轨罩
4.完全整合电缆管理系统
5.可选气体净化的密封设计
行程1000mm
精度±1.0um
负载135.0kg
ALS20000 直线电机平台
1.保护金属导轨罩
2.完整的电缆管理系统
3.洁净空间应用的理想选择
4.紧凑的结构,高性能,直线电机平台
5.成像和扫描应用中具有优良的速度控制性能,适合成像和扫描应用
行程600mm
精度±1.0um
负载70.0kg
ALS25000 直线电机平台
1.防护金属导轨罩和侧面封闭可以适应恶劣的环境
2.完整的电缆管理系统
3.高性能直驱直线电机实现优良的伺服性能
4.紧凑结构以适应有限空间的应用需求
行程600mm
精度±1.0um
负载70.0kg