产品执行标准
DIN50987,ISO3497,ASTMB568
测试原理
EDXRF能量色散X荧光光谱法
测量样品
固体、液体、粉末
功能
单镀层和多镀层测厚与元素分析
最多可分析6层(不包括基层)
镀液主盐成份分析
高压发生器
输入电压
24VDC±10%
输出电压
0-50kV
输出电流
0-2.0mA
输出精度
0.01%
X射线管
X射线管靶材
W靶
X射线管窗口
Be窗
电气参数
50W, 4-50kV,0-1000uA
冷却方式
油冷却
X射线照射方向
从上往下↓
照射范围
Φ0.1mm
使用寿命
15000-20000h
探测器
探测器类型
正比计数探测器
元素分析范围
K19-U92
分辨率
FWHM<760eV
探测窗口
铍窗,窗口面积:400mm2
镀层测厚与元素分析指标
测厚范围
0.01—35um
第一层精密度/准确度
相对标准差5%以下(厚度大于0.5um时)
相对标准差3%以下(厚度大于8um时)
第二层精密度/准确度
相对标准差10%以下(厚度大于0.5um时)
测量时间
10-60s
谱处理系统
处理器类型
全数字化32-bit DSP
谱通道数
256,512,1024,2048可供选择
计数率
大于100000cps
能量范围
1400eV-40960eV
死时间
<3%
光路系统和样品观测
准直器系统
单一准直器Φ0.1mm
对焦系统
镭射激光对焦
样品观察系统
300万像素高清CCD摄像头,20倍光学变焦
样品室
样品室内部空间
(宽×高×深):455×60×430mm
样品台尺寸
(宽×深):250×275mm
样品台承载重量
≤5kg
试验样品最大尺寸
宽×高×深:440×50×410mm
样品台控制方式
三维电动样品台
工作台移动技术数据
X=200±5、Y=200±5、Z=80±5mm
工作台移动精度
0.005mm
计算机和软件
控制计算机
联想品牌机,2G内存,500G硬盘驱动
显示器
联想19寸LCD显示器
操作系统
WindowsXP
报告结果
Word、Excel格式
软件
镀层测厚软件、元素分析软件
软件类型
FP基本参数法软件
软件语言
简体中文、繁体中文、英文、其它
谱显示
自动峰定性,KLM标记,谱重迭比较
谱处理
总强度,净强度,背景强度;全面积,净面积,多元素拟合,高斯拟合
资料分析
基本参数,基本谱图,无标样测试,峰位修正,底材修正
重量和尺寸
设备主体尺寸
宽×高×深:W 503×H635×D790mm
主体重量
约80kg
使用环境
工作环境
温度15-25℃,湿度40-70%RH
电源系统
单相220V±10%,工作电压在允许范围内
其它
1.不要靠近产生强磁场,电场,高频等装置;2.减少振动;3. 粉尘少,湿度低,无腐蚀性气体;4. 日光不能直射;5. 作为地震的对策,要考虑装置的固定。
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