LBN301型三氟化氮检漏仪
三氟化氮检漏仪主要应用于对三氟化氮气体的泄漏进行检测。三氟化氮是一种工业特种气体，其主要用作推进剂（火箭）、氟化剂、电子气、等离子蚀刻及用于掺杂激光、光导纤维。尤其是在目前发展较快的微电子领域，它可以作为一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氧化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和氧气的混合气体具有更高的蚀刻效率和选择性，而且对表面无污染，在被蚀刻物表面不留任何残留物质，同时也是非常良好的清洗剂。
三氟化氮气体的危害
三氟化氮是一种毒性物质，但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼，使牙齿生黄斑，骨骼成畸形。
具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解，甚至发生爆炸。在大气中的最高容许浓度：10ppm(29mg/m3)。
三氟化氮被列为温室气体,其制造温室的能力极强,其存储热量的能力是二氧化碳12000—20000倍，在大气中的寿命可长达740年之久。能在大气中维持550年. 主要在生产液晶电视时排放,目前排放量为每年4000吨。
仪器特点
该仪器比市场同类产品检测精度高，能够帮助用户快速检测出气体泄漏点。
自带电源供电，单次最长使用4.5小时
高灵敏度，最小可到0.3ppm
稳定性好，零点长期漂移≤1ppm
大液晶显示屏能够直观显示测量数据。
超限进行声光报警功能。
自动保护功能，在仪器超过报警限时自动停止检测以保护传感器。
中文友好界面，触摸控制，易于操作
主要技术指标
参数 | 说明 |
测量范围 | 0～30 ppm |
引用误差 | ≤±3%FS |
最小检测限 | 0.1 ppm |
分辨率 | 0.01ppm |
报警值 | 在（0～30）ppm范围内可任意设定，出厂设置为10 ppm |
报警方式 | 声光报警 |
报警误差 | 报警误差不应超过设定值的10% |
响应时间 | ≤5s |
稳定性 | 分析仪连续工作4h，满足：零点漂移不超过±5%FS； 量程漂移不超过±5%FS。 |
使用条件
工作环境：温度：（-20~+50） oC 湿度：大于20%RH 小于95%RH（无凝露）
供电：自带充电锂电池供电，配备专用充电器。
