| 设备型号 | GX-900A | GX-1100A | GX-1200A | GX-1350A | GXW-1600A |
| 尺寸 | 900×1050 | 1100×1200 | 1200×1450 | 1350×1500 | 1600X1000 |
| 制膜种类 | 光学增透膜、减反射膜（AR）、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等 |
| 工件夹具 | 拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转、12轴公自转（卧式） |
| 加热系统 | 发热管上加热方式，PID控制，最高温度350度 |
| 结构 | 立式前开门、卧式前开门（304不绣钢）、后置真空系统 |
| 真空系统 | 滑阀泵（旋片泵）＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统) |
| 气体系统 | 质量流量控制仪＋电磁阀 |
| 电子枪 | 电子枪四圆形坩埚加一个U形坩埚，高压4KV-8KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描电动定位 |
| 电阻蒸发源 | 2组电阻蒸发源 |
| 离子源 | 功率2KW，阳极电流最大6A。双灯丝（自动切换）提高附着力、膜层密度、稳定折射率。（霍尔源） |
| 晶振膜厚仪 | 由美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制抽真空及电子束自动蒸发系统,实现设备的全自动控制 |
| 极限真空 | 8×10－4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10－2pa小于6分钟 |
| 工件旋转 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 |
| 控制方式 | 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 欢迎来电咨询和交流，提供样板测试. 姚宏宇 13631340120 |
