产品介绍:全氟醚橡胶材料是目前所有弹性密封材料中耐高温、耐化学溶剂性能及高洁净特性最好的橡胶材料,耐化学药品及腐蚀性介质(耐强酸、强碱、醚类、酮类、酯类、含氮化合物、碳化氢类、醇类、醛类、油,蒸汽类、胺基化合物等1600多种化学产品的腐蚀),耐温可达327℃ ,在半导体工业、化学处理工艺、汽车工业、石油工业、制药工业、电子产品、溶剂设备、核工业、航天设备及其他耐热机械等,在苛刻的环境中,充分发挥其卓越的作用。
应用范围: ①优秀的拉伸强度(TS~15-20MPa);
.. ②极低的压缩永久变形(~20%-70h◎200℃);
.... ③极高的耐温性能(327℃);
.... ④卓越的耐化学性能(耐无机酸、有机酸;铜、酯、醚类;呋喃、醛类;含氮化合物;碳化氢;醇类;油、蒸汽类及其他1600
。。。。。。多种化学药品);
供应形式: ①O-RING(O型圈系列);
..②X-RING(星型圈系列);
.. ③Oil Seal(油封系列);
.. ④GASKET(垫片系列,非标件);
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在半导体行业的解决方案 |
Hillraz®全氟化橡胶零部件成功应用于半导体加工工业,该领域对热稳定和耐化学要求极高。由于清洁度对半导体晶体产量至关重要,因此减少由密封失效产生的问题,诸如颗粒杂质、漏气、挤出成为半导体制造者的主要目标。
耐化学性和卓越的耐高温性使 Hillraz®零部件可承受任何加工中介质,包括在温度高达 327 ℃ plasma 和各种气体混合。 |
根据特殊需求选择 Hillraz®零部件的不同化合物,可在晶体加工过程中改进密封性能,包括热性能,气体分解, plasma 腐蚀灰化和湿制成。所有应用于半导体领域的 Hillraz®零部件都在 Class 100 清洁室做超纯试验后清洁和包装,以便减少污染。 |
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