原子力显微镜AFM探针:  

探针的工作模式：主要分为 扫描(接触)模式和轻敲模式

探针的结构：悬臂梁+针尖

探针针尖曲率半径Tip Radius：一般为10nm到几十nm

制作工艺：半导体工艺制作

常见的探针类型：

（1）、导电探针（电学）：金刚石镀层针尖，性能比较稳定

（2）、压痕探针：金刚石探针针尖（分为套装和非套装的）

（3）、氮化硅探针：接触式 （分为普通的和锐化的）

（4）、磁性探针：应用于MFM，通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备

（5）、电化学探针（STM）: 电学接触式和电学轻敲式

（6）、FIB大长径比探针：测半导体结构，专为测量深的沟槽（深孔）以及近似铅垂的侧面而设计生产的。

常用探针型号介绍：

     轻敲模式，RTESP，TESP，FESP

     接触模式，SNL，NP，

     磁力显微镜，MESP

     静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，MESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。