工作原理：
空气中的主要成分是氮和氧，在环境温度下，氮气和氧气在吸附剂上的吸附性能不同，通过适当工艺过程，使得氧氮分离获得氧气。VPSA制氧装置利用吸附剂的不同组分的吸附能力不同性质，可实现对混合气体中某些组分的优先吸附而使其它组分得以提纯；利用吸附剂的第二个性质，即吸附质在吸附剂上的吸附容量随吸附质的分压上升而增加，随吸附温度的上升而下降，可实现吸附剂在低温、高压下吸附而在高温、低压下解吸再生，从而构成吸附剂的吸附与再生循环，达到连续分离气体的目的，实现产品氧气的工业供给。
技术特点：
1、吸附压力低，流程短，无需原料空气冷却器，因此操作简便，运行费用低；
2、采用了真空缓冲技术，真空泵工作连续，能量利用率高，能耗低。（小于0.26～0.38KWh/Nm3O2）
3、流程中充分考虑了空气中SO2、CO2对吸附剂的影响，可延长吸附剂寿命
4、采用的以两塔系列为基础的联合多塔制氧技术，装置运行可以任意灵活运用，不仅可以根据生产需要进行气量的灵活调整，同时可以在设备故障或检修时任意组合，进行在线维护，满足用户的用氧需求，并且产品气更加稳定，杜绝了放散浪费。
技术指标：
成品氧气产量：200～2000Nm³/h
成品氧气纯度：50～95%
氧气压力：0.02MPa（可按用户要求配置氧压机)
启动时间：≤30min
ZGO型VPSA真空变压吸附制氧装置规格性能表

 设备型号 氧气产量Nm3/h 氧气能耗KWH/m3O2 冷却水耗t/h 仪表空气用量m3/h 装机功率kw ZGO-200V 200     0.26～0.4 1.7 35 160 ZGO-300V 300 1.9 185 ZGO-450V 450 2.8 50 300 ZGO-600V 600 3.9 350 ZGO-800V 800 5.2 65 480 ZGO-1000V 1000 6.5 650 ZGO-1200V 1200 7.6 710 ZGO-1500V 1500 9.2 100 900 ZGO-2000V 2000 12.8 1200

注：表中尺寸仅供参考，设计更改恕不通知，请以实物为准