无尘室工程 无尘室升级工程
无尘室改造工程 找厦门必拓
无尘室包括的部分:
1、 隔间:无尘室的隔间分为更衣区、无尘区百级。无尘区都设风淋室(Air
shower).无尘室与室外设有物品出入通道传递窗。当人员进入无尘室时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入无尘室的灰尘,传递窗则是通过对物品灰尘的吹淋,达到落尘的效果。
2、 风系统:(1)、风系统流程图(现场画)。(2)、系统采用全新风空调箱 FFU系统。FFU即风机和过滤器。千级区域的过滤器采用的是HEPA,过滤效果:99.997%,百级区域的过滤器采用的是ULPA,过滤效果:99.9995%。
3、 水系统:(1)、水系统流程图(现场画)。(2)、冰水系统分为一次侧和二次侧。一次侧冰水水温在7-12度,供给空调箱和风机盘管,二次冰侧水12-17度供给干盘管系统。一次侧冰水和二次侧冰水为两个不同的回路,中间有板式换热器连接。
4、 空调控制系统:温度:干盘管系统控制。
湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘水进水量。
正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。
5、其他系统:不只包括空调系统,无尘室系统还包括真空、空压、氮气、纯水、废水、制程管路系统等。