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AWM2000气流质量传感器/流量传感器
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AWM2000系列为无源器件,包含两个惠斯顿电桥:一个为闭环的发热
控制电路,一个为双传感电路, 特点:
* 双向气流传感
* 实际气体质量流量传感
* 流速0~30sccm 到0~1000sccm
* 需另加发热器控制及传感桥路供电电路
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