主要用于龙翩真空镀膜机(LP),莱宝，光驰真空镀膜机等离子源，在本地真空为高真空的条件下，由阴极中通人氩气（1-10-2），在阴极和辅助阳极之间加上引弧电压，使氩气发生辉光放电，在空心阴极内产生低压等离子体放电，阴极温度升高到2300-2400K时，由冷阴极放电转化为热阴极放电，开始热电子发射，放电转为稳定状态，通入反应气体，可以制化合膜。通常阴极使用寿命为90-120H更换。