产品简介
本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)
有以下特点:
1、恒压,恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。
技术参数
品名 | 真空镀膜电源 |
型号 | SPWM系列 |
输入 | 相数 | 单相或三相 |
电压 | 220/380V |
频率 | 50Hz |
输入方式 | 4线(含地线) |
输出 | 波形 | 直线 |
功率 | 30KW /60KW /100KW(可定制) |
电压 | 0—1200V(可定制) |
稳定度 | ≤1% |
电流 | 0—200A(可定制) |
稳定度 | ≤1% |
纹波及杂讯 | ≤5%或≤3% |
效率 | ≥90% |
控制 | 功率 | 可选择 |
电压 | 恒压控制,可本地控制也可通过0-10V或4-20mA |
电流 | 可选择 |
保护 | 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 |
冷却 | 风冷 |
外型 | 外壳 | |
尺寸(W*D*H) | 482.6mm*600mm*266.7mm(30KW) |
重量 | 30KG(30KW) |
备注 | |
开关电源特点
体积小,重量轻,效率高,节能效果显著。功率因子高,对电网污染小。输出纹波小。输出电压,电流独立可调,恒压,恒流自动转换。