该陶瓷承载板用于CMP减薄抛光工艺的承载基板。其主要性能:99.5%氧化铝烧制,密度 3.9g/cm³,硬度 莫氏9,颜色 米黄,平行度平面度 小于0.005mm 。 售出产品发现杂质,气孔,应力开裂的现象可退换。
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