精修爱德华干泵,特定体积工艺室的抽空时间主要取决于泵在接近大气压力时的可用抽速。正如产品名称所提示，iXL250Q、iXL500Q和iXL750Q在大气压力附近提供大约250 m3/h、500 m3/h和750 m3/h的抽速。iXL250Q目标是较小的工艺室，它们用于较早一代FPD(例如第四代)制造，而iXL500Q和iXL750Q则更适合较大的工艺室，可在第八代和第十代FPD制造中使用。