产品说明书

迪纳科以化学共沉淀高纯AZO纳米粉体为原料，采用目前国际的专利技术-真空DCC成型+纯氧气氛烧结技术进行AZO陶瓷靶材的生产.这一技术的应用突破了AZO产品形状尺寸的限制也保证了公司生产的AZO陶瓷靶材的超高密度以及极其均匀的单相结构，材料晶粒发育完整，内部微观结构均匀且缺陷更少，材料的体密度差异性小于0.1%，耐热冲击性能更好，磁控溅射时更能经受大功率溅射，同时由于无氧原子缺乏膜层透过率更高等优点，所制造的AZO溅射靶材综合性能比传统的冷-热等静压制造技术更为优良，也达到了目前国际AZO溅射靶材的最高质量水平。

1．铝掺杂氧化锌溅射靶材

 2.AZO旋转靶材技术参数:

相对密度： + 99.3%（+5.55g/cm3）;

直径:50-400mm；

厚度:6-20mm；高度:50-300mm.

电阻率: ≤1.0×10-3Ω.cm

成份组成按照客户要求，相对密度+99.3%（+5.55g/cm3），体电阻率≤1×10-3Ω.cm，外径50-400mm,壁厚6-20mm,单节最大高度500mm,提供帮定支持。