供应Mitutoyo/三丰表面粗糙度
上海凌拓实业有限公司
中国 上海
产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌
Mitutoyo/三丰
型号
C
技术参数:
X1 轴
测量范围: 100mm
分辨率: 0.00625μm
检测方法: 激光全息光栅尺
驱动速度: 最大 40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (操纵杆控制模式)
测量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (形状／轮廓)
测量方向: 向前／向后
直线度: (0.05+0.0003L)μm
指示精度 (20ºC): ±(0.16+0.001L)μm
L 为驱动长度 (mm)
Z1 轴
测量范围: 12mm
分辨率: 0.001μm
测针上／下运作: 弧形运动
检测方法: 激光全息光栅尺
指示精度 (20ºC): ±(0.07+I0.02HI)μm
H 为测量高度 (mm)
测力: 4mN
跟踪角度: 向上60º, 向下60º
(取决于表面粗糙度)
测针针尖: 半径: 5μm, 角度: 40º, 钻石
(球型测针) (半径: 0.25mm, 蓝宝石)
测针方向: 向下
Z2 轴 (立柱)
测量范围: 300mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 最大 200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)
基座尺寸 (W x D): 600 x 550mm
基座材料: 花岗岩
Y 轴*
测量范围 : 100mm
分辨率 : 0.05μm
驱动速度 : 最大80mm/s (CNC 模式)
0~50mm/s (操纵杆控制模式)
台面最大承重 : 50kg
直线度 : 1.0μm/100mm
定位精度 : ±1μm
* 仅适用于 525-753, 525-754
尺寸 (W x D x H): 600 x 570 x 992mm (主机)
重量: 190kg (主机)特点
• 高精度测针型CNC 表面测量仪可以同时
进行表面粗糙度和形状／轮廓的测量。
• X1 轴和Z2 轴的最大驱动速度分别为
40mm/s 和200mm/s，可以高速定位，从
而提高了多重轮廓／多工件测量的效率。
• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，
从而可以实现高分辨率(X1 轴：6.25nm,
Z1 轴：1nm) 的轮廓／形状测量、表面粗
糙度的测量和批次测量。
• Z1 轴检测器采用主动控制方式，减少Z1
轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
• Z1 轴检测器集成了防碰撞安全装置，当
仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检
测装置可以自动停止工作。
• 带有Y 轴工作台的型号，可沿Y 轴进行
多工件定位，从而增加了多工件测量范
围。
• 提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这
两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在
按键上标有易于理解的图形显示轴的选
择状态。
• 通过USB 端口与数据处理／分析装置(选
件) 进行信息交换。
X1 轴
测量范围: 100mm
分辨率: 0.00625μm
检测方法: 激光全息光栅尺
驱动速度: 最大 40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (操纵杆控制模式)
测量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (形状／轮廓)
测量方向: 向前／向后
直线度: (0.05+0.0003L)μm
指示精度 (20ºC): ±(0.16+0.001L)μm
L 为驱动长度 (mm)
Z1 轴
测量范围: 12mm
分辨率: 0.001μm
测针上／下运作: 弧形运动
检测方法: 激光全息光栅尺
指示精度 (20ºC): ±(0.07+I0.02HI)μm
H 为测量高度 (mm)
测力: 4mN
跟踪角度: 向上60º, 向下60º
(取决于表面粗糙度)
测针针尖: 半径: 5μm, 角度: 40º, 钻石
(球型测针) (半径: 0.25mm, 蓝宝石)
测针方向: 向下
Z2 轴 (立柱)
测量范围: 300mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 最大 200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)
基座尺寸 (W x D): 600 x 550mm
基座材料: 花岗岩
Y 轴*
测量范围 : 100mm
分辨率 : 0.05μm
驱动速度 : 最大80mm/s (CNC 模式)
0~50mm/s (操纵杆控制模式)
台面最大承重 : 50kg
直线度 : 1.0μm/100mm
定位精度 : ±1μm
* 仅适用于 525-753, 525-754
尺寸 (W x D x H): 600 x 570 x 992mm (主机)
重量: 190kg (主机)特点
• 高精度测针型CNC 表面测量仪可以同时
进行表面粗糙度和形状／轮廓的测量。
• X1 轴和Z2 轴的最大驱动速度分别为
40mm/s 和200mm/s，可以高速定位，从
而提高了多重轮廓／多工件测量的效率。
• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，
从而可以实现高分辨率(X1 轴：6.25nm,
Z1 轴：1nm) 的轮廓／形状测量、表面粗
糙度的测量和批次测量。
• Z1 轴检测器采用主动控制方式，减少Z1
轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
• Z1 轴检测器集成了防碰撞安全装置，当
仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检
测装置可以自动停止工作。
• 带有Y 轴工作台的型号，可沿Y 轴进行
多工件定位，从而增加了多工件测量范
围。
• 提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这
两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在
按键上标有易于理解的图形显示轴的选
择状态。
• 通过USB 端口与数据处理／分析装置(选
件) 进行信息交换。
