性能参数
型号QV Apex302PRO
QV Apex302PRO2
QV Apex302PRO3
Hyper QV302PRO
QV Apex404PRO
QV Apex404PRO2
QV Apex404PRO3
Hyper QV404PRO
QV Apex606PRO
QV Apex606PRO2
QV Apex606PRO3
Hyper QV606PRO
测量范围X 轴300mm 400mm 600mm
Y 轴200mm 400mm 650mm
Z 轴200mm 250mm 250mm
分辨率0.1μm [0.02μm]
高灵敏度CCD 照相机黑白 (PRO3 型号: 彩色)
精度* E1XY (1.5+3L/1000)μm [(0.8+2L/1000)μm]
E1Z (1.5+4L/1000)μm [(1.5+2L/1000)μm] [PRO2 型号: (4.0+5L/1000)μm]
E2XY (2+4L/1000)μm [(1.4+3L/1000)μm] [PRO2 型号: (2.5+4L/1000)μm]
照明
(PRL: 可编程环形灯)
表面LED, RGB (PRO2 和 PRO3 型号: 卤素灯)
轮廓LED, 白色 (PRO2 和 PRO3 型号: 卤素灯)
PRL LED, RGB (PRO2 和 PRO3 型号: 卤素灯)
放大倍率变化系统可编程电动转盘 (PRO2 型号: 程控倍率透镜)
最大驱动速度X/Y 轴300mm/s [200mm/s] 400mm/s [200mm/s] 400mm/s [200mm/s]
Z 轴300mm/s [200mm/s] 300mm/s [200mm/s] 300mm/s [200mm/s]
工作台玻璃尺寸399 x 271mm 493 x 551mm 697 x 758mm
最大工件高度200mm 250mm 250mm
台面最大承重20kg [15kg] 40kg [30kg] 50kg [40kg]
尺寸 (W x D x H)** 859 x 951 x 1609mm 1027 x 1407 x 1778mm 1309 x 1985 x 1794mm
重量** 360kg 579kg 1450kg
* 测量精度在以下条件下定义, 可编程电动转盘: 1X, 物镜设置: 2.5X, L 为任意两点间尺寸 (mm) PRO2 焦距是3X
** 包括机械台架
