GCVD系列管式炉广泛引用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、纳米氧化锌的可控生长、金属或非金属在真空或保护气氛下的焊接、烧结等热处理工艺。
* 高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封法兰,具有优良的洁净度和真空度。
* 全部采用超轻质的陶瓷纤维制品耐火保温,整机结构小、能耗低、升温快。
* 加热元件采用进口Kanthal电阻丝或U型硅钼(碳)棒,寿命长。
* 温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,具有良好的稳定性和一致性。
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设备型号: | GCVD(D)-06/30/1 | GCVD(Z)-07/40/1 | GCVD(G)-09/50/1 | GCVD(G)-06/50/2 |
最高温度: | 1050℃ | 1300℃ | 1650℃ | 1650℃ |
使用温度: | RT~1000℃ | RT~1250℃ | RT~1600℃ | RT~1600℃ |
控制精度: | ±1℃ | ±1℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ |
温区个数: | 1个 | 1个 | 1个 | 2个 |
炉管材质: | 高纯石英 | 99刚玉 | 99刚玉 | 99刚玉 |
发热元件: | Kanthal电阻丝 | Kanthal电阻丝/硅碳棒 | 硅钼棒 | 电阻丝、硅钼棒 |
加热区长度: | 300mm | 400mm | 500mm | 500mm |
炉管尺寸: | Ф60×1000 | Ф70×1100 | Ф90×1300 | Ф60×1450 |
加热功率: | 3Kw | 4Kw | 10Kw | 8Kw |