OEM 硅压力传感器芯片
产品描述
SM5102为硅微机械压阻式压力传感器芯片,量程5~300psi,为理想的OEM产品。该产品能够直接安装在陶瓷片或PC板基片上,也可以根据不同的应用要求采用特殊的封装形式。
此外还可依据客户要求提供特殊压力范围、具有场屏蔽和高稳定性的传感器。
特性
● 可大量使用,价格低廉
● 有表压和绝压型
● 稳定的电流和电压驱动
● mV级输出
● 5,15,30,60,100和300psi 量程可选
应用
● 高度计
● 轮胎压力测量计
● 医疗仪器
● 工业传感器
● 潜水用具
● 家用电器
SM5102电气连接图 SM5102外形尺寸图 SM5102(2 mm×2mm)封装专利号5,812,047和6,089,099
SM5102型性能指标及测试条件 Vexc=5.0 T=25℃
参数 |
最小值 |
标准 |
最大值 |
单位 | ||
激励* |
| |||||
电压 |
0 |
5.0 |
10.0 |
V | ||
电流 |
0 |
1.5 |
3.0 |
mA | ||
输出** |
| |||||
5psi |
75 |
100 |
125 |
mV | ||
15psi |
115 |
145 |
175 |
mV | ||
30psi |
130 |
165 |
195 |
mV | ||
60psi |
130 |
180 |
220 |
mV | ||
100psi |
130 |
200 |
250 |
mV | ||
300psi |
130 |
220 |
275 |
mV | ||
零压 |
-50 |
0 |
50 |
mV | ||
温度系数 |
| |||||
满量程*** |
-24 |
-19 |
-15.5 |
%FS/100℃ | ||
零点*** |
-7 |
-1 |
+7 |
%FS/100℃ | ||
阻抗 |
24 |
27.5 |
33 |
%FS/100℃ | ||
线性精度**** |
-0.3 |
±0.05 |
0.3 |
%FS | ||
桥式阻抗 |
2.7 |
3.15 |
4.0 |
KΩ | ||
温度范围 |
| |||||
使用 |
-40 |
125 |
℃ | |||
储存 |
-55 |
150 |
℃ | |||
过载特征 |
| |||||
耐压 |
>3倍满量程输出 | |||||
瞬间压力**** |
>5倍满量程输出 | |||||
* 电桥可采用正压或负压驱动;采用正电压驱动时芯片电路产生正信号输出。
** 在恒压5V激励下测量
*** 0~70°C范围内测量
*** 最佳直线拟合
命名方式:SM5102 - 015 - A 产品型号 SM5102 压力类型 A:绝压;G:表压 压力范围 005:5psi;015:15psi;030:30psi;060:60psi;100:100psi;300:300psi
SM5103
低压传感器芯片
高灵敏度低压硅传感器芯片
产品描述
SM5103为硅微机械压阻式低压传感器芯片,量程0.3~3.0psi,为理想的OEM产品。该产品能够直接安装在陶瓷片或PC板基片上,也可以根据不同的应用要求采用特殊的封装形式。此外还可依据客户要求提供特殊压力范围。
特性
● 低压(0-0.3 ~0-3 psi)
● 低压状态下良好的工作性能
● 稳定的电流和电压驱动
● 可大量使用,价格低廉
● mV级输出
应用
● 风速计
● 水平仪
● HVAC
● 常用设备
● 气体分析
SM5103电气连接图 SM5103外形尺寸图 SM5103芯片(3.4mm×3.2mm)
SM5103性能指标及测试条件 Vexc=5.0 T=25℃
参数 |
最小值 |
标准 |
最大值 |
单位 |
激励* |
| |||
电压 |
0 |
5.0 |
10.0 |
V |
电流 |
0 |
1.5 |
3.0 |
mA |
输出** |
| |||
0.3psi |
25 |
50 |
75 |
mV |
0.8psi |
25 |
50 |
75 |
mV |
1.5psi |
25 |
50 |
75 |
mV |
3.0psi |
25 |
50 |
75 |
mV |
零压 |
-75 |
0 |
25 |
mV |
温度系数 |
| |||
满量程** |
-24 |
-19 |
-15.5 |
%FS/100℃ |
零点** |
-7 |
-1 |
+7 |
%FS/100℃ |
阻抗 |
24 |
27.5 |
33 |
%FS/100℃ |
线性精度*** |
-0.3 |
±0.1 |
0.3 |
%FS |
桥式阻抗**** |
2.7 |
3.3 |
4.0 |
KΩ |
温度范围 |
| |||
使用 |
-40 |
125 |
℃ | |
储存 |
-55 |
150 |
℃ | |
过载特征 |
| |||
耐压 |
>10倍满量程输出 | |||
瞬间压力 |
>15倍满量程输出 |
* 电桥可采用正压或负压驱动;SMI并不建议将Vsub直接连到高电压
** 在恒压5V激励下测量
*** 0~70°C范围内测量
**** 最佳直线拟合,量程为0.3psi时的线性度为±0.5%(最大)