日本西格玛光机SIGMA KOKI Z轴TSD不锈钢直动平台(水平台面型)TSDS-253产品描述：
特征：
移动台面为水平的Z轴TSD不锈钢直动平台。
其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。
和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。
它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。
它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄，密封性高的场合。
规格参数：
型号 | 台面尺寸
mm | 行程
mm | 螺距
[m/rotation]] | 移动精度直线度
[mm]] | 平行度
[N] | 移动平行度
[mm] | 最小读数
[mm] | 最小分辨率
[mm | 承载能力Fz'
[N] | 最大承载力矩Fx'
[N?m] | 最大承载力矩Fy'
[N?m] | 刚度Fx"
[arcsec/N?cm] | 刚度Fy"
[arcsec/N?cm] | 自重
[kg] |
TSDS-253 | 25 x 25 | ±3 | 0.5 | 0.01 | 0.08 | 0.015 | 0.01 | 0.003 | 29.4（3.0kgf） | 1 | 1 | 7.14 | 7.14 | 0.1 |
TSDS-403 | 40 x 40 | ±3 | 0.5 | 0.005 | 0.08 | 0.02 | 0.01 | 0.003 | 88.3（9.0kgf） | 3.9 | 3.9 | 1.84 | 1.84 | 0.25 |
TSDS-603 | 60 x 60 | ±5 | 0.5 | 0.005 | 0.08 | 0.025 | 0.01 | 0.003 | 147.0（15.0kgf） | 6.9 | 6.9 | 0.51 | 0.51 | 1 |
