KASUGA KSD-0120 静电电位监视装置产品特点:
1:能用1台控制器连接2ch的幅度电位传感器(KS-2100)、能廉价地制造静电监视系统。
2:因为是小型传感器部、能设置在各种制造装置内比较窄的地方、连续监视可能。
3:因为有警报设定、如果在超越了设定的电位时、能与各种制造装置传动。
4:装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。
产品用途:
1:在平板显示器生产工序的带电量监视。
2:半导体wafer带电量监视。
3:用于LSI的处理和印刷电路板搬送的带电量监视。
产品规格:
型号 | KSD-0120 |
表示范围 | 有效距离① ±1~±1999V |
| 有效距离②±0.01~±19.99kV |
模拟输出 | 0~±5V |
测量精度 | ±10%以内 |
警报设定 | 2频道独立设定及加减独立设定 |
警报输出 | 集电极开路(警报设定输出及传感器故障输出) |
电源 | DC12~24V或是AC适配器 |
消耗电力 | 20VA |
环境 | 温度0~40℃、湿度65%RH以下(不会结冰打霜) |
重量 | 约360g |
传感器部
型号 | KS-2100 |
感应方式 | 振动型表面电位传感器 |
测量范围 | 有效距离① ±1~±2000V |
| 有效距离② ±0.01~±20.00kV |
模拟输出 | 0~±5V |
测量精度 | ±10%以内 |
测量基准距离 | 有效距离① 10mm |
| 有效距离② 50mm |
警报 | 感应传感器故障LED表示、外部输出 |
电源 | 由KSD-0120供给 |
环境 | 温度0~40℃、湿度65%RH以下(不会结冰打霜) |
重量 | 约100g(含电缆) |
附属品 | 专用电缆5m(可用100m) |
本体各部名称:
传感器名称: