● 采用本公司开发的嵌入式模块控制电机，提高了电机响应速度，还简化了仪器与PC机的 接口，PC机与仪器通过USB线和S端子线连接；

● 采用花岗石平台，外观简洁大方；

● 表面光由独立四十八组光源组成，每一组均 为恒 流源驱动，连续可调；  

● 配有我公司专用的全自动测量软件Mclns，大大提高测量效率。

仪器型号		VMS-3020CNC	VMS-4030CNC	VMS-5030CNC
工 作 台	金属台面尺寸(mm)	506×356	606×466	700×450
	玻璃台面尺寸(mm)	350×280	450×350	550×350
	运动行程(mm)	300×200	400×300	500×300
	仪器重量(kg)	140	240	290
	外形尺寸(长X宽X高) (mm)	770×590×1100	950×700×1100	970×670×940
镜头	日本SONY CCD
X、Y、Z数显解析度	1μm
X、Y坐标示值误差	≤(3+L/200)μm
电机	伺服电机： 日本 三轴运动速度： 100mm/s 三轴定位精度： 0.001mm
电源	AC110V/220V
消耗功率	<100W（不包括电脑）