测量范围及精度	Z轴（纵方向）	±160μm
	X轴（横方向）	12.5mm
	测定分辨率	0.01μm/±20μm～0.08μm/±160μm
	测量速度（X轴）	0.6mm/s(返回1mm/s)
传感器	测针半径	5μm
	测针材质	金刚石
	测量力	4mN以下
测量及分析项目	对应规格	JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、
	参数或计划类型	Pt、Ra、Rq、Rz、Rzmax、Rp、Rt、R3z、RSm、Pc、Rk、Rpk、Rvk、
	参数或计划类型	Mr1、Mr2、VO、K、Rmr、R、Rx、AR、W、Wx、AW、Wte(JIS-2001)
	评价曲线	断面曲线、粗糙度曲线、ISO13565特殊曲线、粗糙度Motif曲线、
	评价曲线	波纹度Motif曲线、包络波纹度曲线（可通过Surf_tool软件显示）
	滤波类型	高斯、2RC
	截止波长	λc:0.08、0.25、0.8、2.5mm；λs:2.5、8μm
配件及其他	测针种类	四种类型测针
	数据导入导出	配置Surf_tool软件，可将测量导入电脑处理。
	使用电源	内置电源，使用时需先充电