机器测量范围		轮廓仪	粗糙度仪
	Z轴（纵方向）	50mm	±500μｍ
	X轴（横方向）	100mm	100mm
精度	Z轴指示精度	±(1.8+\|2H\|/100)μｍ H：测量高度	-
	测定分辨率	0.1μm/50mm	1000μm/0.01μm – 6.4μm/0.0001μm
	X轴指示精度	±(1+0.01L)μm L为测量长度(mm)	-
	测定分辨率	0.016μｍ	100mm/0.04μｍ或32,000点
	直线精度	1μｍ/100mm	(0.05 +1L/1000)μm L=测量长度(mm)
记录	纵倍率	0.01--10,000,000倍（可任意选择或自动选择）	50--500,000倍（可任意选择或自动选择）
记录	横倍率	0.01--10,000,000倍（可任意选择或自动选择）	0.1--20,000倍（可任意选择或自动选择）
速度	立柱上下（电动）	3--10mm/s	3--10mm/s
	驱动速度（X轴）	0.03--60mm/s	0.03--60mm/s
	测量速度（X轴）	0.03--20mm/s	0.03--20mm/s
传感器	Z轴（纵方向）	光栅尺	差动变压
	X轴（横方向）	光栅尺	光栅尺
	最小测量距离	0.1μｍ
	最大测量点数	100,000点（最多10形状）	32,000点
	测针半径	25μｍR	2μｍR
	测针材质	超硬合金	金刚石
	测量力	30mN以下	0.75mN
	测量方向	左、右	向右
	测量形式	上、下	-
软件	评价曲线	-	断面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹曲线、滤波波纹度
			中心曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度
			曲线、DIN4776特殊曲线、粗糙度MOTIF曲线、滤波波纹
			度MOTIF曲线、包络波纹度曲线
	表面特性曲线	-	负荷曲线、功率谱曲线、振幅分布曲线
	倾斜修正	-	直线修正、曲线修正、前半修正、后半修正、两端
			修正、花键曲线修正（可在任意范围内进行直线、
			圆弧、两端修正）
	滤波类型	-	标准滤波（2RC）、相位补偿滤波（2RC）、
			相位补偿滤波（高斯）
	CUTOFF值	-	0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25mm(7级)、任意
其他	外观尺寸	685466737mm
	大理石台面	600*320mm
	立柱高度	250mm
	重量	125Kg