布鲁克斯最新一代气体质量流量计/流量控制器5850S系列:
内置微处理器,智能化、数字化。
软件组态,数字通讯,支持微软Windows动态数据交换。
测量精度:0.2% F.S.
量程比:50:1
流量测量范围:3sccm- 2500slpm
操作压力:300Bar Max. ( 4500 psi )
响应速度:0.2 Sec操作温度:0 - 65℃
材质:316
配电:+24Vdc
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