激光调阻机/激光微调机SFT310

激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化,厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值,当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻过程。
设备特点
•调阻效率高:调阻速度相对国内其它激光调阻产品高出4-10倍,产能大大提升,单位成本下降。
•调阻精度高:独特的测控技术,测量控制系统精度的一致性好,提升产品附加值;成品率高,单位成本下降。
•软件可编程:可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行,也可作为专门的测试平台,适应性广。
•使用成本低:采用了最先进的激光器,无耗材,使用成本最低,长期使用节约大量的费用。
•多功能:可实现陶瓷基片的激光划线、打标,减少设备的再投入。
•专业大理石基座,可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动,同时保持机台温度的稳定性,可靠性高。
技术参数
| 激光部分 | 型号规格 | SFT310 | SFT320 |
激光波长 | 1064nm |
激光功率 | 10W | 20W |
典型光斑尺寸 | 35±5µm |
对焦方式 | 计算机程序控制 |
冷却方式 | 风冷 |
| 激光束定位系统 | 激光束运动范围 | 50mm X 50mm |
运动分辨率 | 0.76µm |
重复定位精度 | ±2.5µm |
| 分步重复机械运动系统 | 运动方式 | 空气悬浮运动,无摩擦力 |
运动范围 | 290mm*260mm |
重复定位精度 | ±2µm |
最大运动速度(空载) | 900mm/s |
| 测量系统 | 电阻测量方式 | 四线制测量或二线制测量 |
电阻测量精度 | 最中阻0.02% |
电阻测量范围 | 0.1Ω-100MΩ |
电阻测量速度 | 25µs |
零点及满程误差校正 | 外接标准电阻板软件自动校正 |
探针定义 | 可编程任意设定 |
探针板运动 | 计算机程序控制 |