DP尺度

中值（50%）

中值-公差

最大值（99%）

μm

μm

μm

μm  最大

0-0.05

0.025

0.020-0.030

0.09

0-0.1

0.050

0.040-0.060

0.15

0-0.15

0.075

0.060-0.090

0.20

0-0.2

0.090

0.070-0.110

0.25

0-0.25

0.125

0.105-0.145

0.33

0-0.35

0.18

0.155-0.205

0.42

0-0.5

0.21

0.18-0.24

0.53

0.25-0.5

0.35

0.31-0.39

0.70

0.25-0.75

0.50

0.45-0.55

0.90

0.5-1

0.71

0.65-0.77

1.30

0.75-1.25

1.00

0.95-1.05

1.7

1-1.5

1.19

1.13-1.25

2.0

1-2

1.42

1.35-1.49

2.3

1.25-2.25

1.69

1.61-1.77

2.6

1.5-2.5

2.00

1.90-2.10

3.0

1.5-3

2.39

2.27-2.51

3.5

2.25-3.5

2.84

2.70-2.98

4.1

2.5-4

3.37

3.20-3.54

4.9

3-5

4.02

3.82-4.22

5.8

4-6

4.87

4.63-5.11

6.8

4.5-7

5.7

5.42-5.98

7.9

5.5-8

6.8

6.46-7.14

9.2

6-10

8.1

7.70-8.50

10.9

8-12

9.6

9.12-10.08

12.9

10-16

12.5

11.9-13.1

17.9

10-20

15.0

14.2-15.8

21.5

FG尺度

尺度分布

中值（50%）

中值-公差

最大值（99%）

μm

μm

μm

μm

μm  最大

0.25

0-0.5

0.30

0.25-0.35

0.75

0.5

0-1

0.55

0.40-0.70

1.3

1

0-2

1.10

0.90-1.30

2.7

1.5

1-2.5

1.60

1.35-1.85

3.3

2

1-3

2.10

1.81-2.39

4.0

3

2-4

3.2

2.8-3.6

5.5

4

2-6

4.2

3.7-4.7

7.5

5

3-7

5.3

4.7-5.9

9.0

6

4-8

6.3

5.6-7.0

10.5

9

6-12

10.0

8.8-11.2

15.0

12

8-16

14.0

12.4-15.6

20.0

15

12-22

17.5

15.4-19.6

26.0

30

20-40

32.0

28.2-35.8

48.0

45

30-60

47.0

41.4-52.6

70.0

步骤

机械器具

研磨料/

钻石产品规格

1．线/切割

线割机械

钻石浆

乙烯基

单晶8…..20μm

2．粗磨

研磨机械（粗磨）

钻石研磨（粗磨）轮

钻石规格15….30μm

3．精磨

精磨机械

锡合金板（盘）

钻石悬浮液

多晶钻石3→1μm

4．CMP

  化学机械抛光

精磨机械

抛光板

CMP浆液