MODEL

VMS-5030F

(X/Y/Z轴)量测行程(mm)

500*300*175

外形尺寸

970x770x940

机台底座材料

高精度花岗石

照明系统

表面光源与透射光源均用LED，亮度可调

CCD

高解析度日本索尼彩色CCD

X,Y轴量测精度

（3+L/200）um

放大倍率

Step Zoom光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光学尺解析度

1 um

重复性

2 um

操作方式

手动

电源供给

110V/220V

合适温度，湿度

温度：19°--24°，湿度：45%--75%

保修期

一年

机台底座材料

高精度花岗石

照明系统

表面光源与透射光源均用LED，亮度可调

CCD

高解析度日本索尼彩色CCD

X,Y轴量测精度

（3+L/200）um

放大倍率

Step Zoom光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光学尺解析度

1 um

重复性

2 um

操作方式

手动

电源供给

110V/220V

合适温度，湿度

温度：19°--24°，湿度：45%--75%

保修期

一年