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金属蚀刻品牌【振达,李先生,手机:13714759163 】小编为您讲解两类金属蚀刻工艺:干法刻蚀和湿蚀刻,我们将简要讨论最流行的湿法和干法刻蚀技术。湿蚀刻的材料被溶解在化学溶液中浸泡时干法刻蚀材料溅射或使用反应离子或气相蚀刻剂溶解在下面,
湿蚀刻这是最简单的蚀刻加工技术。所有它需要的是一种液体溶液的容器中,将解散问题的材料。各向异性和各向同性湿式蚀刻的原则,在如下图所示。当我要使用湿蚀刻?这是一个简单的技术,这将提供了良好的效果,如果你能找到的腐蚀剂和面具的材料组合,以满足您的应用程序。湿蚀刻,非常适用于基板上蚀刻薄膜,也可用于蚀刻基板本身。与基板蚀刻的问题是各向同性的过程会导致削弱遮罩层的距离相同的蚀刻深度。
干法刻蚀干式蚀刻技术可以分为三个单独的类称为反应离子刻蚀(RIE),溅射刻蚀,气相腐蚀。在刻蚀,基板放置在其中介绍了几种气体的反应堆。等离子体是气体的混合物,使用射频电源击中,打破成离子气体分子。对离子加速,并在材料表面被腐蚀,形成另一种气态物质反应。这就是所谓的化学反应离子刻蚀部分。如果离子有足够高的能量,他们可以敲原子的物质,没有化学反应蚀刻。平衡物理和化学蚀刻,因为有很多的参数进行调整,这是一个非常复杂的任务,发展干蚀刻制程。
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