STFJ-110型分子泵机组是由F-100/110型系列各性能涡轮分子泵,前级机械泵,隔断放气阀,前级管路、分子泵电源,控制电源等组装于机柜内而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于连接,性能可靠,可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各个领域。
STFJ-110分子泵机组技术性能:
产品型号 | STFJ-110 |
接口法兰 | DN100LF | DN100CF |
抽气速率L/S(对空气) | >110 |
压缩比N2 H2 | >108 5×102 |
极限压强(pa) | 5×10-5 | 5×10-6 |
排气口法兰 | KF25 |
使用轴承 | 精密机械轴承 |
输入电压频数(V/HZ) | 220±20/50 |
环境温度℃ | 0~40 |
前级泵型号 | TRP-12 |
启动时间(min) | <3 |
额定工作转速(rpm) | 42,300 |
冷却方式 | 水冷也可风冷 |
安装方式 | 任意 |
重量(kg) | 52 |
长×宽×高 | 500×510×685 |