制版机：

产品名称：曝光机
产品编号：143654-378
产品型号：55666
市场价格：元/台批发价格：元/台
更新时间：2011.06.09
出品单位：浙江福禄标牌设备有限公司

    产品详细介绍

基本概念

　　曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。

   曝光机是20世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。

工作原理

   在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

应用范围

　　用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。

晒版机：18072032207

晒版机主要用于制作印版（PS版、丝网版等）的一种接触曝光成像设备，利用压力使原版与感光版紧密贴合，以便通过光化学反应，将原版上的图像精确地晒制在感光版上。晒版机可分为单面晒版机和翻转式双面晒版机（又称双回）2种类型。

现行晒版机行业标准JB/T 9108－1999由原江苏泰兴仪器厂主要负责起草。

晒版机主要由机架、真空抽气系统、灯具和电气控制系统等四部分组成；原先的晒版机光源主要是高压汞灯、镝灯和氙灯，上世纪80年代末已更换为金属卤素灯-碘镓灯，它是目前为止寻找到的最合适的晒版光源。

也就是原版（如菲林）和PS版贴合的紧密程度。目前我国的行业标准是：在工作过程中印版应保持与玻璃表面的完全接触，真空系统应能在60s内获得80kPa的真空，工作期间真空度不应下降。

衡量晒版机品质最重要的指标。 国内的行业标准JB/T 9108-1999 是：工作面上的照度均匀度不得小于86%。

晒版机在印前设备中占有极其重要的地位，其性能的优劣直接影响到制版的质量，而对其实施保养在印刷生产工艺的环节中有着举足轻重的作用。如果对所需晒版机选择正确，保养得当，及时维护，不仅可提高晒版机的使用寿命，更可以提高晒版质量。依据国家对晒版机技术条件的规范要求，要选择使用的晒版机必须是按JB/T 9108-1999 行业标准生产的晒版机，一台性能优良的晒版机应满足以下要求：

（1）工作环境温度应在0-40℃，相对湿度要小于80%；工作玻璃应符合GB 4871－1995中一等品的规定。有效工作表面不得有划伤、气泡、霉变等缺陷；工作面的照度均匀度不得小于86%。具体检测方法如下：在无干扰光源的情况下，将光源调整到正常工作的最低位置，把精度不低于±4%的照度计测头置于工作玻璃面上测取版框中心、四角及各边中心的照度值Li，按公式A=[1-(|Li-L| max)/L]×100%计算晒版机工作面上的照度均匀度，其中：A为照度均匀度，Li为各测点照度值，L为9个测点照度平均值。

（2）在工作过程中印版应保持与玻璃表面的完全接触，真空系统的真空调节的最小范围为0-86.6kPa（0-650mmHg）；关闭晒版机电源后5分钟晒版机的真空度不得降低20kPa(150mmHg)。检测方法如下：将与机器规格相对应的最大尺寸的印版放在晒版机内，闭合真空系统，开启真空泵，用秒表测量真空系统中真空表所显示的真空度达到80kPa(650mmHg)所需时间；然后关闭电源，用秒表计时5分钟，观察真空表所示的真空系统的密封性能。

（3）晒版机的工作玻璃表面温升应不大于20℃。检测方法：将曝光光源置于正常工作位置，用分度值不小于0.5℃的点温度计测量工作玻璃表面温度。以光源开启6分钟关闭3分钟为一周期，循环工作10次与晒版机工作之前室温下的工作玻璃表面温度相比较，计算玻璃表面温升。

（4）曝光控制系统带定时器的晒版机其重复曝光时间误差应小于±1%。检测方法：用秒表测量晒版机的实际曝光5分钟的时间3次，记录晒版机的实际曝光时间Ti，计算3次曝光时间平均值T，按公式δ=[1-(|Ti-T| max)/T]×100%计算重复曝光时间误差δ。

（5）晒版机对光源的要求：首先应根据PS版的感光特性来选择光源，PS版的感光范围一般在280-450nm，因粘贴胶片的片基和晒版机玻璃对320nm波长以下的光具有较强烈的吸收作用。因此320nm以下波长的光对PS版感光层起不到感光效能，感光性能较好的PS版将感光范围定在320-450nm波长范围内；碘镓灯是当今最通用且效率高的光源，其波长分布在350-450nm范围内，对多数晒版感光层有效。这种光源有较强的辐射热，因此晒版机应具备良好的散热装置。

（6）晒版机在电源电压波动±10%的情况下应能可靠工作；工作噪声应小于70dB；短接的动力电路与保护电路（包括机座）导线之间的绝缘电阻不得小于1MΩ；晒版机要有可靠的防紫外线装置。

由于制版工艺的特殊性，使得制版环境有相对较高的要求，制版车间要求密封良好，避免强光的直接照射。这样做一可起到防尘的作用，二可避免PS版的存放或者晒版过程中曝光和漏光。若在晒版过程中空气中弥漫着大量的灰尘，较大颗粒的灰尘可能落在PS版表面或由于胶片的静电吸附作用而粘附在胶片的表面，在晒版机曝光前的抽气过程中，会直接影响到PS版与胶片的紧密结合程度，显影后就可观察到晒出的PS版局部发虚或出现颗粒状脏点，影响原稿网线密度的再现。由此可见，环境的卫生状况对制版尤其是彩色制版的影响非常大。

当我们购买新的晒版机后，打开包装要检查装箱单、使用说明书、合格证是否齐全。根据安装使用说明书，安装好晒版机框架及附设装置，在安装灯管时，不要用手触摸灯管的玻璃体，以免污垢粘在灯管上影响灯管的发光效率和使用寿命。晒版机的摆放要平稳，以免使机壳变形而影响晒版机的性能。晒版机放置不平还会增大噪声。根据厂家提供的晒版机功耗的大小，安装电源线及空气开关。空气开关与晒版机的功耗换算后要留有一定的余地，因电网电压总有一定范围内的波动，且在用电高峰期与低谷期时，电网中的电压都会发生明显的变化，晒版机本身的功率较大，一般的晒版机都不具备自动稳压的性能，空气开关所允许的最大电流以高出晒版机的标称值5A为宜。国内的晒版机对电源的需求以三相四线制的居多，单相的也有。真空泵为三相电机的要调整好相序。方法为：零线、火线分别接好后，通电试一下气泵的转向，真空表应迅速顺时针方向转动，若不然，应重新调整任意两根火线的相序。线接好调整稳妥后，就可以根据使用操作说明书来操作晒版机了。

晒版机是光电一体化程度较高的机器设备，对环境的相对湿度、温度及抽气的真空度有规范的具体要求，环境相对湿度以不超过70%，温度25℃左右为宜，曝光真空度应不低于0.08Mpa为准。若房间内湿度较大、温度较高会对晒版机的控制电路稳定性产生较大的影响，因湿度的增大将减小集成电路的使用寿命及工作电路的可靠性，因而导致晒版机的故障发生率增加；同时对机械零部件产生不良影响，加快了机械磨损的速度。湿度较大对PS版与胶片的密结度产生负面影响，湿度增大后，胶版与PS版之间产生油状衍射波纹，致使橡皮布与玻璃板之间的空气不能完全排出，曝光显影后PS版网点发虚。国产晒版机的真空泵大多为油式真空泵，真空泵吸入的水蒸气随着时间的增加而逐渐积聚，与泵中的油充分混合后形成乳油状的液体，使真空泵的吸气能力减小。建议真空泵每两个月更换一次真空泵油，以保证晒版机的正常工作。在我国，南北纬度跨度较大，一年四季温度、湿度都有较大差别，沿海地区多为湿润性气候，水汽中含有较多的盐分，因此要根据当地的气候和环境情况，在室内安装空调（在冬季北方需增加取暖设备）来调节制版室所需要的温湿度。其次，东西部海拔落差大，大气压强对真空泵的排气能力产生明显的影响，在西部要适当延长抽气时间或选择性能优良的真空泵来提高晒版质量。

在晒版机中，智能控制已成为当今晒版机中的主流，在强电中多以交流接触器或中间继电器来控制末端的灯源和真空泵的电机运转。由于交流接触器的吸合释放产生的震动使某些接线端子上的压线松动及电路板上的集成块插脚接触不良，因此要有专业人员对晒版机的电源来进行紧固和压紧。对光电传感器要经常用脱脂棉蘸酒精擦拭，以利于其可靠工作。在有鼠患的地方更要特别注意。老鼠特别喜欢聚乙烯合成的电线绝缘层发出的气味，爱在那里做窝，撕咬电线。因此要严加防范，并经常检查，减小不必要的损失和隐患。

晒版机的玻璃光洁度、平整度、透明度不同于一般的民用玻璃，上面不能有划痕、气泡。在使用过程中，其上不能随意搁放杂物，以免划伤玻璃。擦拭玻璃要用酒清浸泡的脱脂棉或不掉毛的棉布擦拭，最大限度地延长其使用寿命。

橡皮布为晒版机的主要密封系统之一，其性能的优劣直接影响晒版的质量。平时晒版往上面取放PS版时，要轻拿轻放，以免PS版的边棱划伤橡皮布密封条，影响抽气效果。一般购置新的晒版机后，在晒版机的橡皮布上面放一层平绒布或者薄的呢子布为好，一来可以提高橡皮布的通气性，二来可以避免抽气时橡皮布的花纹反印在玻璃上，减小操作者经常擦拭的劳动强度。

晒版机正常使用到第一次大修的时间不少于2500h； 晒版机的使用期限，两班工作时间应不少于12年。

SBD750大四开台式晒版机；SBD1000对开晒版机；SBY1150B大对开晒版机；SBF1050翻转式对开晒版机（简称对廻）；SBY1300全开晒版机；SBD1600超全开晒版机

开放分类：