电子级四甲基氢氧化铵(TMAH)
(显影液TMAH:25.0%、20.0%、2.380%)
| C.A.S.号 | 75-59-2 | 凝固点℃ | <-25.0 |
| 分子式 | (CH3)4NOH | 粘性25 ℃, cst | 2.8 |
| 分子量 | 91.15 | 比重 @ 60 °F | 1.022 |
| 形 态 | 液体 | 闪点°F | >200 |
| 沸点℃ | 100.0 | pH | >13 |
| 项目 | 单位 | RJ-25 (MAX) | RJ-20 (MAX) | RJ-2.380 (MAX) |
| 含量 | % | 24.90~25.10 | 19.90~20.10 | 2.377~2.383 |
| 色度 | Hazen | 5 | 5 | 5 |
| 碳酸根 | ppm | 100 | 100 | 10 |
| 氯离子 | ppm | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 甲醇 | ppm | 40 | 40 | 10 |
| 锂 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 钠 | ppb | 10 | 10 | 1 |
| 镁 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 铝 | ppb | 10 | 10 | 1 |
| 钾 | ppb | 10 | 10 | 1 |
| 钙 | ppb | 10 | 10 | 1 |
| 铬 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 锰 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 铁 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 镍 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 钴 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 铜 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 锌 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 钼 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 镉 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 铅 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 银 | ppb | 5 | 5 | 1 |
| 颗粒≥0.5um | 个/ml | 100 | 100 | 100 |
| 用途 | 在电子行业中,广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影液等 |
| 储存 | 保存于密闭容器中,放置阴凉处 |
| 标准包装 | 1000KgIBC桶、槽车、加仑桶等 |
| 运输信息 | 危险品等级:8 UN 1835 |