多晶硅实验炉,多晶硅铸锭实验炉,多晶硅熔炼实验炉,多晶硅实验设备。
太阳能级硅锭制造,也可以用于其他半导体材料提纯。
特点
控制精度高,结晶速度自由调节
采用感应熔炼法,增加溶液搅拌,熔炼速度快
定向凝固保温采用特制加热电源
具有三相电流平衡,维护费用低
采用恒温度控制仪
主要技术参数
熔炼容量:3-25KG
电源功率:50-160KW
升温速率:40℃/Min
炉温均匀性:±5℃
极限真空度:1.0×10-3Pa
压升率: 0.01PaL/S
额定充气压力:0.05Mpa
铸锭方式:下降定向凝固
伺服控制范围:0.01mm-6mm/Min
定向凝固速率:0.03mm-0.5mm/Min
坩埚上升速度:80-100 mm/Min