在影像、控制、软件等各相关领域最尖端的科研成果与精湛的机械设计工艺，是一款具有国际品牌性能的高端全自动影像仪。世界顶级的软硬件配置，目前国内精度最高、性能最稳定、功能最强大。
仪器特点
◆ 超精密全自动测量，四轴CNC控制；
◆ 精密花岗岩机台，精度高、稳定性好；
◆ 三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；
◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；
◆ TZTEK自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆ 可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
技术参数
| 型号 |
VMU222 |
VMU322 |
VMU432 |
VMU542 |
|
行程(mm) |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
500×400×200 |
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外部尺寸(mm) |
1040×740×1620 |
1040×740×1620 |
1240×800×1620 |
1440×1000×1680 |
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重量(kg) |
240 |
250 |
310 |
400 |
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承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
25 |
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测量精度 |
XY轴* |
E2=(1.5+L/300)µm |
E2=(1.9+L/300)µm |
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Z轴** |
E1=(5.0+L/200)µm |
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速度 |
XY轴 |
200mm/S |
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Z轴 |
100mm/S |
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光栅尺 |
0.1µm Renishaw光栅尺 |
| 导轨 |
THK |
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图像传感器 |
130万像素数字彩色相机 |
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光源 |
轮廓光 |
LED冷光源，256级亮度可调 |
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表面光 |
6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 |
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同轴光 |
LED冷光源，256级亮度可调 |
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光学镜头 |
12.5:1连续变倍 |
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软件 |
Vispec测量软件（VMU版） |
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运动控制 |
自主专利的CNC直流伺服系统 |
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保修期 |
1年 |
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工作环境 |
温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% |
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振动<0.002g，低于15Hz |
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电源 |
220V/50Hz/10A |
L表示测量长度，以毫Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
应用行业
机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视(LCD)、印刷电路板（线路板、PCB）、汽车、医疗器械、钟表、仪器仪表等。
测量对象
LCD、FPC、PCB、线路板、螺丝、弹簧、钟表、手表、仪表、接插件（连接器、接线端子）、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、五金件、冲压件、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、SMT模板）等。
测量元素
长度、宽度、高度、孔距、间距、Pin间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、R角等。
