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供应BROOKSSLAMF51气体质量流量控制器
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产品属性
图文详情
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型号
SLAMF51
品牌
BROOKS
公称通径
DN5以下mm
原理
质量流量计
适用介质
各种气体
工作压力
16MPa以上MPa
测量范围
20-100 slpmm³/h
工作温度
20℃
精度等级
±1.0% of rate20%-100% FS; ±0.2% FSbelow 20% FS; ±1.0% of FS1100-2500 slpm
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