产品概述

·改进的性能，正常运行时间中有更高的潜在收益率，譬如良率；

·比常规的抛光垫更低的缺陷率；

·几乎相同的切除率，优良的均匀性和耐冲蚀性能。

降低拥有成本

·研磨垫的使用寿命更长（与传统的垫相比延长1.3倍至2.5倍）；

·拥有竞争的价格。

可扩展服务

·提供全球范围内的资格和性能优化及抛光后的分析的支持。