SiLECT™系列抛光浆

产品概述

SiLECT SP2000系列是美国嘉柏微电子材料公司新制低成本的硅晶片抛光

浆料。高纯度的二氧化硅浆料配方设计，以减少铜等金属污染水平，

最大限度地提高切除率，但也提供优良的纳米形貌，并有显著的成本优势

特征

·高纯度

·稳定的粒径分布

·加工过程中稳定的PH值

降低拥有成本

·浓浆，应用以最高的配比，以减少运输和处理成本，并实现较低的使用成本。

·可回收浆具有一致的稳定去除率。

提高产品产量

·特殊配方，以实现卓越的纳米形貌产品产量，以满足技术要求。

提供抛光技术支援，满足客户的特殊要求

·多年抛光技术创新的研发，以满足客户的具体要求。