◆ X*Y*Z:250*150*150/300*200*150/400*300*150/500*300*150
◆ 采用双重闭环运动控制，电机在高速运动时具有的定位性能
◆ 采用本公司开发的嵌入式模块控制电机，提高了电机相应速度，还简化了仪器与PC机 的接口，PC机与仪器通过USB线和S端子线连接。
◆ 采用花岗石平台，外观简洁大方
◆ 表面光由独立24组光源组成，每一组均为恒流源驱动，200级连续可调。
◆ 配有我公司专用的CNC软件，大大提高测量效率。
仪器型号Model | HYVMS-2515E | HYVMS-3020E | HYVMS-4030E | HYVMS-5030E | ||||
工作台 Table | 金属台尺寸 Metal table’s size(mm) | 450*280 | 500*330 | 606*466 | 706*466 | |||
玻璃台尺寸 Glass table’s size(mm) | 306*196 | 350*280 | 450*350 | 550*350 | ||||
X.Y运动行程 X.Y axis Travel(mm) | 250*150 | 300*200 | 400*300 | 500*300 | ||||
Z轴升降行程 Z-axis travel lift(mm) | 150(Focus) | 150(Focus) | 150(Focus) | 150(Focus) | ||||
X、Y、Z轴数显分辨率 X.Y.Z-axis digital display resolution | 0.5µm | 0.5µm | 0.5µm | 0.5µm | ||||
X、Y坐标示值误差 X.Y coordinates showing error | ≤（3+L/200）L为被测长度，单位：mm） ≤（3+L/200）L is the measured length, unit: mm | |||||||
仪器重量 Instrument Weight (Kg) | 220 | 270 | 325 | 450 | ||||
外形尺寸 Dimension (mm) | 670*660*950 | 720*950*1020 | 720*950*1020 | |||||
电机 Motor | 三轴运动速度 Three-axis velocity | 100mm/s | ||||||
三轴定位精度 Three-axis positioning accuracy | 0.001mm | |||||||
影像系统Large Imaging System | 摄像机Camera | TEO彩色1/2″CCD摄像机 TEO Color 1 / 2 "CCD Camera | ||||||
变焦镜头Zoom | 美国NAVITAR变焦镜头带同轴光变焦镜头（二选一） U.S. NAVITAR coaxial optical zoom lens with a zoom lens (2 select one) | |||||||
变焦镜头倍率 Zoom magnification | 0.7-4.5X | |||||||
视频总倍率 Video Total magnification | 30-190X | |||||||
物方视场 object field | 11.1-1.7mm | |||||||
电源 Power | AC220V/AC110V | |||||||
消耗功率 Power consumption | 100W (not including computers) | |||||||
仪器配件 Instrument Accessories | 1X镜筒（标配） 1X tube (standard) | 0.5X镜筒（选配） 0.5X tube (Optional) | ||||||
变焦镜头Zoom lens | 0.7-4.5X | 0.7-4.5X | ||||||
添加镜头Add Mirror | Video magnification | Material side field (mm) | Video magnification | Material side field (mm) | WD | |||
0.5X可选 (optional) | 11.8X-74X | 22-3.4 | 5.9X-37X | 44-6.8 | 175 | |||
标配Standard | 23.5X-148X | 11.1-1.7X | 11.8X-74X | 22-3.4 | 92 | |||
2X可选 (optional) | 47X-296X | 5.5-0.9 | 23.5X-148X | 11.1-1.7 | 36 | |||
