1.高纯氧化物薄膜材料(溅射靶材、颗粒、压片)
氧化物 OXIDE | 一氧化硅SiO | 二氧化铪HfO2 | 二氧化锆ZrO2 | 二氧化钛TiO2 |
一氧化钛TiO | 二氧化硅SiO2 | 三氧化二钪Sc2O3 | 三氧化二钛Ti2O3 |
三氧化二铝Al2O3 | 五氧化二铌Nb2O5 | 五氧化二钽Ta2O5 | 五氧化三钛Ti3O5 |
三氧化二铟In2O3 | 二氧化铈CeO2 | 氧化镁MgO | 氧化镨Pr6O11 |
三氧化钨WO3 | 氧化钐Sm2O3 | 氧化钕Nd2O3 | 氧化铋Bi2O3 |
氧化锑Sb2O3 | 氧化钒V2O5 | 氧化镍NiO | 氧化锌ZnO |
氧化铁Fe2O3 | 氧化铬Cr2O3 | 氧化铜CuO | |
2.高纯氟化物薄膜材料(颗粒、压片)
氟化物 FLUORIDE | 氟化镁MgF2 | 氟化镱YbF3 | 氟化钇YF3 | 氟化镝DyF3 |
氟化钕NdF3 | 氟化铒ErF3 | 氟化钾KF | 氟化锶SrF2 |
氟化钐SmF3 | 氟化钠NaF | 氟化钡BaF2 | 氟化铈CeF3 |
3. 特种薄膜材料(溅射靶材、颗粒)——应用太阳能、半导体、磁性元件等,热压、热等静压粉末冶金溅射靶材
SrAl2O4 | SrAlO4 | SrHfO3 | SrPrO3 |
SrZrHfO3 | L5 | ATO-HP or CIP | AZO-HP or CIP |
钛酸镧LaTiO3 | 钛酸钡BaTiO3 | 钛酸锶SrTiO3 | 钛酸镨PrTiO3 |
冰晶石Na3AlF6 | 锥冰晶石Na5Al3F14 | 二钛酸镨Pr(TiO3)2 | 硫化锌ZnS |
硫化镉CdS-HP | 碲化镉CdTe-HP | 铜铟镓硒CIGS-HP | 锗锑碲GST-HP |
硅钼合金MoSi-HP | 二硫化钼MoS2-HP | 二硫化钨WS2-HP | 硅钛合金SiTi-HP |
钨钛合金WTi-HP | 硅铝合金SiAl-HP | 钼铬合金 MoCr-HP | 铝铬合金AlCr-HP |
粉末冶金靶材种类繁多,以上列出有代表性材料,可根据要求定做。
4.高纯金属及合金材料(溅射靶材、颗粒)
铪靶Hf | 锆靶Zr | 钛靶Ti | 铝靶Al | 铬靶Cr |
镁靶Mg | 铜靶Cu | 铁靶Fe | 铌靶Nb | 锡靶Sn |
钨靶W | 钽靶Ta | 钼靶Mo | 镍靶Ni | 钴靶Co |
钒靶V | 铽靶Tb | 钆靶Gd | 镧靶La | 铈靶Ce |
钕靶Nd | 镨靶Pr | 金靶Au | 银靶Ag | 铂靶Pt |
镍铬合金NiCr | 镍钒合金NiV | 锆钛合金ZrTi | 铌锆合金NbZr | 锌镉合金ZnCd |