美国UDM --全球顶尖的表面清洁技术生产商
合作伙伴--道益DOU YEE
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为什么半导体切割制程中要加入UDM切割液?
半导体切割制程中污染的原因:
* 切割中产生大量粉尘--90%来自矽晶圆及其金属材料
* 晶片大小--Die尺寸越小,受污染的机率越高
* 粉尘大小--越小越难清除,5um以下单以纯净水清洗作业方式无法清除,是污染的重点
* 粉尘掉落
* 静电吸附
* 纯水剂各种工具的清洁极限
以上这些污染,会造成表面氧化,焊线失败,爆米花等不良。
应用部门:半导体前道Dicing部门
UDM切割润滑液的工作原理:
纯水(DI Water)中混入切割润滑液UDM后,纯水表面张力降至原来的一半,使得纯水的清洁力大大增强,能有效清除Die 表面0--5微米的
细微矽粉。同时,由于纯水表面张力的降低,使得它在晶圆切割时渗入刀片和晶圆的缝隙,有效减少了摩擦,消除了静电,使得切割过程
变得更顺畅。
使用切割润滑液可以带来的效果:
1)高效的清洁功能: 加入UDM切割剂,可将水的表面张力,从而能有效清洁Bond Pad 表 面0-5微米的细微矽粉,使得随后的
Die Bonding 和Wire Bonding变得更易控制,提高了整个前道制程的良率。
2) 降低ESD: 充分润滑,降低摩擦力,有效消除切割过程中产生的静电。在消除静电破坏的同时也避免了因静电原因造成的切割粉吸
附工作表面的问题。制程中可以不用二氧化碳。
3) 传热: 通过改善切刀和产品的接触散热,降低摩擦,实现了切割工艺优化。
4)改善晶圆和晶片的可靠性: 减少了碎裂,背崩等不良,从而加强了产品的可靠性。
5)延长刀片寿命:使切割刀片效能发挥到最大化,增加20-30%使用寿命。
6)提高工作效率: 提高切割速度,有效利用切割设备。
包装: 桶装, 1加伦/桶, 4桶/箱
储存: 储存在室温下,65F--75F,保质期2年。 存放温度不能低于冰点(32F)
环保型产品,可生物降解,无危险性,不会对环境造成任何污染。
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