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产品名称: | 轮廓测量仪 |
产品分类: | 轮廓仪 - 精密量仪 |
生 产 地: | 日本 |
产品简介:
轮廓测量仪 CV-3100 / CV-4100
产品详情:
产品特点
• 大幅度提高了驱动速度(X 轴:80mm/s, Z2
轴:20mm/s),近一步降低了总测量时间
• 为了在一定时段内维持仪器的直线度
格,三丰公司采用了具有极佳的耐摩
性及稳定性的高硬度陶瓷导轨
• 大量的外周设备选件支持CNC 模式,从
而可以很容易实现CNC 测量
• 驱动精度线性编码器(Z2 轴为ABS <,从而提
高了在垂直方向持续自动测量小孔和
易定位工件的重复精度
• X 轴精度:±(0.8+0.01L)μm,
Z1 轴精度:±(0.8+|0.5H|/25)μm ,针对高
度工件的测量所设计
CV-4100S4, H4, W4
L 为驱动长度,H 为测量高<mm)
• CV-4100 系列的驱动装置集成了激光全
测微计检测器,在Z <垂直方向) 的窄
宽测量范围内,提供卓越的精度和分
率
技术参数:
X
测量范围: 100mm <200mm
分辨< 0.05μm
检测方< 反射型线性编码器
驱动速度: 80mm/s 和手
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向前/向
直线< 0.8μm/100mm, 2μm/200mm
当X 轴在水平方向
指示精度: ±(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)
(20° C < ±(0.8+0.01L)μm (CV-4100S4, H4, W4)
±(1+0.02L)μm (CV-3100S8, H8, W8)
±(0.8+0.02L)μm (CV-4100S8, H8, W8)
L 为驱动长<mm)
倾斜范围: ±45°
Z2 <立柱)
垂直行程: 300mm <500mm
分辨< 1μm
检测方< ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s 和手
Z1 <(检测器)
测量范围: ±25mm
分辨< 0.2μm (CV-3100), 0.05μm (CV-4100)
检测方< 线性编码器(CV-3100),
激光全息测微计 (CV-4100)
指示精度: ±(2+I4HI/100)μm (CV-3100)
(20° C < ±(0.8+I2HI/100)μm (CV-4100)
H 为水平位置上的测量高<(mm)
测针上/下运< 弧形运动
测针方向: 向上/向
测力: 30mN
跟踪角度: 向上<7°、向下: 87°
(根据表面粗糙度,使用标准单切面测<
测针针尖 半径: 25μm、硬质合金针
基座尺寸(W x H):750 x 600mm <1000 x 450mm
基座材料: 花岗
重量
主机: 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)
145kg (S8), 155kg (H8), 160kg (W8)
控制装置:14kg
遥控< 0.9kg
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能< 400W (仅限主机)
三丰公司具有创新意义
高精度激光全息光栅技
术,运用了衍射光干涉
象,达到了近似干涉仪
别的高精度,有效保证
全部测量范围50 mm 内高
<.05μm 的分辨率
检测原理图
批量校准功能
• 使用专用校准规,可同时进行设备的Z
增益,对称及针尖半径的校准