产品(样品)参数
蚀刻深度以及蚀刻宽度可以根据客户需要来完成。蚀刻线边缘效果好,不存在热影响和残渣现象。
火山口的高度<1um, 线宽一致性<1um,
直线度在200mm范围内误差在+/-2um左右。
样品图片
1)石英铝膜蚀刻,蚀刻线宽60um,深度20um。
2)银浆蚀刻
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