设备特点：
1、采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业；
2、采用第三代最新技术，全面完善的防酸防腐措施，保护到机器每一个角落。
3、最新全自动补液技术。
4、独特的硅片干燥前处理技术，保证硅片干燥不留任何水痕。
5、成熟的硅片干燥工艺，多种先进技术集于一身。
6、彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式转换