薄膜激光蚀刻机
激光器
DPSS 1064nm/355nm
工作幅面
400mm×500mm
加工速度
直线
1000mm/s(max)
曲线
2000mm/s(max)
加工线宽
30-100μm
综合加工精度
±15μm
适用范围
ITO蚀刻；Ag/Gu蚀刻
样品展示：
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