数据处理类型 | 专用数据处理器 | PC系统 | |||||||
型号 | SJ-500 | SV-2100M4 | SV2100S4 | SV2100H4 | SV2100W4 | SJ-500P | SV-2100M4 | ||
货号 | 0.75mN检出器 | 178-532-1(mm) 178-533-1（inch) | 178-636-1(mm) 178-637-1（inch) | 178-680-1(mm) 178-681-1(inch) | 178-682-1(mm) 178-683-1(inch) | 178-684-1(mm)178-685-1(inch) | 178-530-1(mm) 178-531-1(inch) | 178-634-1(mm) 178-635-1(inch) | |
4mN检出器 | 178-532-2(mm) 178-533-2（inch) | 178-636-2(mm) 178-637-2（inch) | 178-680-2(mm) 178-681-2(inch) | 178-682-2(mm) 178-683-2(inch) | 178-684-2(mm)178-685-2(inch | 178-530-2(mm) 178-531-2(inch) | 178-634-2(mm) 178-635-2(inch) | ||
行程范围（操作） | X轴 | 50mm （电动/手动） |
100mm(电动/手动） | 50mm （电动/手动） | 100mm(电动/手动） | ||||
Z2轴（立柱） | ___ | 350mm(手动） |
350mm(电动/手动） | ___ | 350mm(手动） | ||||
测量范围 | X轴 | 50mm | 100mm | 50mm | 100mm | ||||
Z1(检测器） | 800μm/80μm/8μm范围 | ||||||||
分辨率 | Z轴 | 0.05μm | |||||||
Z1轴检测器） | 0.01μm/800μm范围，0.001μm/80μm范围，0.0001μm/8μm范围 | ||||||||
Z2轴（检测器） | ___ | ___ | 1μm | ___ | ___ | ||||
电动速度 | X轴 | 0-20mm/s(通过操作杆） | 0-400mm/s（通过操作杆） | 0-20mm/s(通过PC) | 0-40mm/s(通过PC） | ||||
Z2轴（立柱） | ___ | ___ | 0-20mm/s(通过操作杠杆） | ___ | ___ | ||||
测量速度 | 0.02-5mm/s | ||||||||
X轴导轨直线度 | 0.2μm/50mm | 0.15μm/100mm | 0.2μm/50mm | 0.15μm/100mm | |||||
测针上/下运动 | 弧线运动 | ||||||||
测针尖端方向点 | 向下 | ||||||||
检测器 | 测力 | 0.75mN或4mN | |||||||
测针针尖 | 0.75mN检出器：60°，R2μm或4mN检出器：90°，R5μm | ||||||||
适用标准 | JIS'82/JIS'94/JIS'01/ISO'97/ANSI/VDA | ||||||||
评价轮廓 | 专用数据处理器型：P（主轮廓），R（表面粗糙度轮廓），WC，包络残余线，粗糙度motif ,波形motif PC系统型：P（主轮廓），R(粗糙度轮廓），WC，WCA，WE，WEA，DIN4776轮廓，E（包络残余线），粗糙度motif，波形motif
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评价参数 | 专用数据处理器型：Ra, Rc, Ry, Rz, Rq,
Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Sm, S, Pc, mr(c),c, mr, PC系统型： | ||||||||
分析图表 | 专用数据处理器型：ADC，BAC，功率谱图 PC系列型：ADC，BAC图，功率谱图，自相关图，Walsh功率谱图，Walsh自相关图，倾斜分布图，局部峰值分布图，参数分布图 | ||||||||
曲面补偿 | 专用数据处理器型：抛物线补偿，双曲线补偿，椭圆补偿，Circular compensation,锥形补偿，倾斜补偿（全部、任选区域） PC系统型：抛物线补偿，双曲线补偿，椭圆补偿，圆弧补偿，Circular compensation，锥形补偿，倾斜补偿（全部、任选区域），多项式补偿 | ||||||||
轮廓分析 | 专用数据处理器型：面积，圆，角度，坐标差，阶差，倾角 PC系统型（SURFPAK-EZ):面积，圆，角度，坐标差，阶差，倾角 | ||||||||
