采用海克斯康为FunctionPlus专业打造的IDC-II控制系统,21项误差空间修正技术和自动调谐功能,保证了大型机器的动态性能和测量精度
测量机三轴都配置温度传感器,实时监控温度变化,自动补偿由于温度变化而引起的误差 软件为业界标杆的PC-DMISBASIC(/PC-DMISuPREMIUM),功能强大,易学高效各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位
三轴均采用预载荷空气轴承,运动更平稳,导轨永不受磨损u
三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,保证在温度变化时的线性伸缩
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