概述

     M-3型手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。

     仪器成套组成：由M-3主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。

     仪器所有参数设定、功能转换全部采用轻触按键输入；具有零位、满度自校功能；手动/自动转换量程可选；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！

     探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

      详见《四探针探头特点与选型参考》点击进入

     仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。

     仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的手持式导电性能的测试。

基本技术参数

1. 测量范围、分辨率

     电    阻：     0.010 ～ 99.99kΩ,     分辨率0.001 ～ 10 Ω

     电 阻 率：  0.010～ 20.00kΩ-cm，分辨率0.001 ～ 10 Ω-cm

     方块电阻：  0.050～ 20.00kΩ/□   分辨率0.001 ～ 10 Ω/□

2. 可测材料尺寸

    手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台决定如下：

    直    径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm。

                  SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。

    长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm。.

    测量方位: 轴向、径向均可.

3. 量程划分及误差等级