电子行业
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服务范围:
精密电子、半导体、IC测试与封装、LED、光导纤维、锂电池等。
重点注意事项:
1、人流
1.1 人员净化流程图;
1.2 洁净室入口应该设立空气吹淋室,当不设空气吹淋室时,应设气闸室;
1.3 单人空气吹淋室,应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;
1.4 空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;
1.5 空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,应设气闸室。
2、物流
2.1 洁净室内的设备和物料出入口应独立设置,并应根据设备和物料的性质、特征、形状等设置净化用室及物净设施;
2.2 物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
3、静压差
3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa;
3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa;
3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
电子厂房洁净级别及换气次数 |
洁净级别 | 尘埃数/㎥ | 活微生物数/㎥ | 换气次数/h |
≥0.5um | ≥5um |
10000级 | ≤350000 | ≤2000 | ≤100 | ≥20次 |
100000级 | ≤3500000 | ≤20000 | ≤500 | ≥15次 |
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