1000级-10万级洁净室的气流方向和100级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，拌有回流或涡流，它主要靠过滤后洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现洁净效果。

不同等级的无尘室，主要是依靠单位时间内所送风量（换气次数）的不同来实现。

无尘室管控之项目

1，能除去空气中之微尘粒子2，能防止微尘粒子产生3，温度和湿度之控制4，压力之调节5，结构物与隔间之气密性6，静电之防制7，安全因素之考虑8，节能之考量9，电磁干扰预防